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产品优势

PRODUCT ADVANTAGES

线扫花篮：一般用于制绒下料、碱抛下料、RCA下料等工序段；面阵花篮：一般用于扩散上料、退火上料、ALD等工序段。

规格及工艺

尺寸：156-210mm ，230mm 硅片；工艺：TOPcon、Perc、Poly、HJT;

线扫花篮：双片/碎片带液、连片、缺片、错齿、插片不齐、水珠等；面阵花篮：空片、破片、缺片、错齿；

产品明细

PRODUCT DETAILS

检出缺陷

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